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PLANOMETRE
2
DESCRIPTION DES BESOINS

• Mesurer la planéité des CCD
• Mesurer la coplanarité de plusieurs matrices
• Mesures à chaud
• Mesures à froid

3
ENUMERATION DES SOLUTIONS

• Zygo et Wyko
• Triangulation laser
• Système à reconnaissance de formes
• Microscope
• Stéréoscope (planomètre)

4
DESCRIPTION DU PLANOMETRE

• Schéma de principe

Cas 2
Cas 1
Cas 3
5
(No Transcript)
6
DEUX MODES POSSIBLES

• Mode subjectif
• A chaud
• Réglages primaires des tables
• Pleine lumière
• Premières mesures

• Mode objectif
• A froid
• Réglages fins
• Mesures précises ( 5 µm)
• Système déclairage
• Obscurité

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Etat davancement

• Terminée
• Terminée
• Terminé
• Terminée
• Méthode estimée
• Mesurée 5µm

• Optique
• Mécanique
• Pilotageinformatique
• Electronique
• Traitement des données
• Précision