Realizarea filmelor nanostructurate prin metoda TVA (Arc Termoionic in Vid) - PowerPoint PPT Presentation

About This Presentation
Title:

Realizarea filmelor nanostructurate prin metoda TVA (Arc Termoionic in Vid)

Description:

Title: Giant Magnetoresistive Coatings for Magnetic Sensors Prepared by Thermionic Vacuum Arc Method Author: CRISTI Last modified by: Cristian Created Date – PowerPoint PPT presentation

Number of Views:105
Avg rating:3.0/5.0
Slides: 13
Provided by: CRIS4164
Category:

less

Transcript and Presenter's Notes

Title: Realizarea filmelor nanostructurate prin metoda TVA (Arc Termoionic in Vid)


1
Realizarea filmelor nanostructurate prin metoda
TVA (Arc Termoionic in Vid)
INFLPR
  • Grupul Procese Elementare in Plasma si
    Aplicatii
  • (10 specialisti cu studii superioare, 6
    specialisti cu studii medii, 2 colaboratori)
  • Colaborari cu Universitatea Ovidius,
    Constanta,
  • Universitatea Politehnica, Bucuresti
  • (Facultatea de Chimie Industriala si
    Facultatea de Inginerie Mecanica)
  • Institutul National de Fizica Materialelor,
  • Institutul Japonez pentru Cercetarea
    Materialelor de Temperatura Ultra-inalta, Ube,
    Yamaguchi, Japonia.

2
PRINCIPIUL ARCULUI TERMOIONIC IN VID SI
INSTALATIA TVA
INFLPR
Un fascicul de electroni emis de un catod cald
(filament de W de diametru 0.5-1.5 mm) este
focalizat de un cilidru Whenelt asupra
anodului. Anodul consta dintr-un creuzet din
metal refractar in care se introduce materialul
de evaporat (Cu, Ag, Co, etc). Anasmblul este
montat intr-o incinta de vid de volum mare
(?90cm, h90cm)
3
INFLPR
Bombardand anodul metalic cu electroni
accelerati, acesta se topeste si apoi se evapora.
Crescand tensiunea aplicata, in spatiul dintre
electrozi se produce plasma in vaporii metalului
evaporat.
Atomii si ionii de metalici sunt ejectati catre
substrat unde formeaza structuri nanometrice
aderente.
4
Acoperiri cu proprietati tribologice
Straturi antifrictiune pentru cuzineti
INFLPR
Cuzinet principal
Cuzinet sup. biela
Cuzinet inf. biela
Cuzinet principal
5
Analiza TEM a filmelor grafit/argint
Gr/Ag 0/10 1/9
2/8/ 4/6 5/5
INFLPR
6
Depuneri utilizand 2 tunuri TVA simultan
INFLPR
  • Doua grupuri TVA independente pentru C si
    pentru Ag.
  • Fiecare grup are propriul filament si sursa de
    tensiune anodica (6 kV, 1A)

7
Structuri nanometrice evidentiate prin HRTEM
(Microscopie Electronica de Transmisie de Inalta
Rezolutie)
INFLPR
5nm
S-au identificat structuri nanometrice
romboedrale cu parametrii a 0.25221 nm, c
4.3245nm (ASTM pattern 79-1473) corespunzand
cristalelor diamant/carbon.
8
INFLPR
Spectrul Raman si fitare Gauss a celor 2 benzi D
si G caracteristice DLC (diamond like carbon)
9
INFLPR
Coeficientul de frictiune in functie de distanta
de alunecare a filmelor DLC-Ag. (Continut carbon
44 C proba (a), 19C proba (b))
10
Acoperiri cu materiale rezistente la coroziune la
temperaturi inalte (aliaje Re-Ni-Cr)
INFLPR
Re
Aliaj de Nb
11
Filme cu proprietati magnetorezistive gigant
(GMR)
INFLPR
Efect GMR al filmelor Ag-Co si Cu-Co
(Concentratie Co 35-45at)
12
Concluzii
  • Prin metoda TVA (arc termoionic in vid) se pot
    realiza filme
  • cu structuri nanometrice. Filmele sunt compacte,
    au rugozitate
  • redusa si nu au structura columnara. Aderenta
    filmelor la substrat
  • creste foarte mult datorita energiei ionilor.
    Datorita conditiilor de vid inaintat in care are
    loc procesul principala pierdere de energie este
    numai prin radiatii.
  • Prin depunere simultana carbon-metal, sau
    Re-Ni-Cr se pot obtine filme cu proprietati
    tribologice, utile in industria de automobile,
    respectiv filme rezistente la coroziune la
    temperaturi inalte utile la generarea eficienta a
    energiei electrice.
  • Prin depunere simultana de Co-Ag (Cu) s-au
    obtinut structuri granulare, nanometrice cu
    proprietati magnetorezisitive (efect GMR),
    utilizabile la fabricarea senzorilor magnetici

INFLPR
Write a Comment
User Comments (0)
About PowerShow.com