Microscopie lectronique haute rsolution: formation dimages

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Microscopie électronique à haute
résolutionformation dimages

• Martin Hÿtch
• CEMES-CNRS, Toulouse, France

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Plan

• Introduction
• Formation dimage
• interaction électron-matière
• effet de la lentille objective
• interférence linéaire et non-linéaire
• problèmes dalignement
• cohérence et stabilité
• Conclusions et perspectives

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Microscopie haute résolution
electron gun
condensor lenses
SACTEM Toulouse
sample
objective lenses

• haute résolution !
• réseau cristallin, typiquement 2Å
• cher
• stabilité, précision etc.
• compromis
• tilt, detecteurs etc.

projector lenses
viewing screen
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Images haute résolution
InGaAs
InGaAs
GaAs
GaAs
projection
préparation déchantillon
5 nm
courtesy of Slawomir Kret

• images du réseau cristallin
• information chimique ?
• information structurale

amplitude phase
5
Microscopie quantitative
nanotubes nanofils
couchesminces
matériauxmassifs
nanoparticules
D I F F I C U L T
E

• tout un programme

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Images de nanocristaux

• formation dimages

7
Microscope et Lentilles
cristal
lentille
écran

• aberrations
• défocalisation
• incohérences

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Fonction donde à la sortie
e
électron incident
cristal
fonction dondeà la sortie
e

• potentiel atomique
• diffusion
• diffraction

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Réfraction
e
électron incident
potentiel
fonction dondeà la sortie

• potentiel attractif
• électron rapide accéléré
• déphasage

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Description ondulatoire
e
e

• front donde a 2 dimensions
• quantité de mouvement en avant devient implicite