Chemical Vapor Deposition- CVD

1
??3

1. ?????????????,????????????????????,???????????????
   
2. ???????????????????,?????????????
3. ????????????????????
4. ??????????
5. ????????????????????

2
??? ?????? Chemical Vapor Deposition-
CVD
???????????????????????????,???????????????????,??
?????????????????????(?????)??????
??
3
CVD???? (1) ?????,?????(200500C)???(
5001000C) ???(10001300C)CVD
(2) ????????,?????CVD???CVD
(3) ????????,????????????CVD (4)
???????,?????????????CVD??
4
5-1 ???????????

• ???????????????????????,???????????????
  ?????????CVD?????????
• ????? AB(g)?A(s)B(g)
• ? SiH4 ?Si2H2
• ???????AB(g)C(g) ?A(s)BC(g)
• (C?H2???)
• ? SiCl42H2 ?Si4HCl

5

• ??????? AB(g)2D(g) ?AD(s)BD(g)
• (D?O2?N2)
• ? SiH4O2
  ?SiO22H2
• ???? AB2(g)2HOH(g) ?AO(s)2BH(g)HOH(g)
• ?Al2Cl63CO2H2 ?Al2O33HCl3CO
• ???? AB2(g) ? A(s)AB(g)
• ? 2GeI2 ?
  GeGeI4
• Al, B, Ga, In, Si, Ti, Zr, Be, Cr can be
  deposited this way
• ???? XA(g) ?Ax(s)

6
CVD???????????????????
?????
?????
????????????????????????????????? ???????
?Grlt0,?????? ??T , ?Gr??,???????????
A????????? ?E??? ?????????T1.5-T2.0 ??T,??????
??
7

• CVD?????????4???(??)
• (1)???????????
• (2)???????????
• (3)????????????
• (4)?????????????????????????????,?????????????????
  ???

8
(No Transcript)
9
(No Transcript)
10
(No Transcript)
11
??????????????

• ?????
• ???
• ?SiH4 700-1100C?Si2H2?
• ??????? ?
• 2Al(OC3H7)3 420C?Al2O36C3H6 ?3H2O ?
• ?????????????
• ?Ga(CH3)3AsH3 630675C?GaAs3CH4 ?
• ???????????
• ?Pt(CO)2Cl2 600C?Pt2CO ?Cl2?

12

• ??????
• ????????????????????????????????????
  ,????????????
• ????????????????????,???????????????
  ??????????????
• ? SiCl42H2 11501200C?Si4HCl
• ???????,?????????????????????????????
  ??????,???????????????????????????????????????????
  ?
• ? SiH42O2 325475C?SiO22H2O?
• Al2(CH3)612O2 450C?Al2O39H2O?6
  CO2?

13

• ??????
• ?????????????(?????),???????????????
  ?????????,?????????????????(????)??????????????,??
  ???????????,??????????????,???????????????????????
  ????????????????????
• ? Ge(s)I2(g)?T?GeI2

14
5-2?????????

• ??????(CVD)???
• ???????????????,????????????????
• ????????,???????µm?????µm?
• CVD???????????,????????
• ????????????????????????????
• ???????????????????,?????????????????,????????????
  ??
• CVD????????????
• ??????

15
5-3 CVD????

• ??CVD?????????????????
• ??????,???????????????,?????????????????
• ????????????????????,??????????????
• ?????????????????,???????????????????????????????
  ??????????????
• ??,CVD????????????,????????????

16
(No Transcript)
17
(No Transcript)
18
?.????






?? ?????
?5-3 ????CVD??
????
????
?????
?????
19
(No Transcript)
20
????????
???
???
ZnSe?
???
?
??
?????????ZnSe????
21
5-4 ????????

• ??CVD??(LPCVD)??????CVD????,????????
  ????????????,???????????????????,????????????

22
5-5 ??????????

• ??????????????(PECVD)????????????????
• ??CVD???????,?????600C???,???900100
  0C????,?????????????????????????,??
• ????????????????,?????????????
• ????????????????????,???????????,????????????
• ??,??CVD????????????
• ??????????????????????????????????????
  

23
(No Transcript)
24
???????????????

• ?????????????????,??????????
• ?????????????(?????),???????
• ?????????????????,????????????,??????????????????
• ????????????????????????????,???????????

25
PECVD???(???CVD??)

• ???????(???????300350C),??????,?????????????????
  ??????????????????
• PECVD?????????,???????????????????????????????????
  ,???????????,??????????????????????????
• ??????????????,???????????????????????????????????
  ???????
• ?????????????CVD.

26
(No Transcript)
27
5-6 ?????????

• ???????????????(Metal Organic Chemical Vapor
  Deposition, MOCVD)
• ??????????????????????????CVD???
• MOCVD???
• MOCVD????????????????,????????????????
  ????????
• ??????????????????????????
• ????????????
• ??????????????,???????
• ???????,?????????????

28
MOCVD?????????? ?????????????,??????????????
???32 ??/? ???????1200?????0800Torr????????
???? ??????,??(??6N) ????,??(??6N)
MO?????(TMGa),????(TMIn), ????(TMAl),????(Cp2Mg)
(?????)
29
(No Transcript)
30
2. MOCVD???? MOCVD
?????????????????,???????????????????????????

• ??
• MOCVD?????????????
• MOCVD???????????????,???????????????????????
• MOCVD?????
• ??????????????????,????????,????????????????,?????
  ?,?????????
• ???????????????????

• ??
• ????????????????,?????????????????????????,???????
  ?????
• ???????,??????????????????,???????,????????

31
(No Transcript)
32
(No Transcript)
33
?????(Molecular Beam Epitaxy,MBE)
34
(No Transcript)
35
MBE??????
36
???????????
????????
37
(No Transcript)
38
(No Transcript)
39
Chemical beam epitaxy, CBE
40
(No Transcript)
41
GAME OVER
42
??