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APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE
FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS
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APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE
FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS
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ESTRUTURA DO ÓXIDO DO SILÍCIO
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PROCESSOS BÁSICOS (DIFUSÃO E REAÇÃO) P/ OXIDAÇÃO
DO SILÍCIO
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CONSUMO DO SUBSTRATO DE Si DURANTE A OXIDAÇÃO
TÉRMICA P/ FORMAÇÃO DO SiO2
XSi (ESPESSURA-CAMADA CONSUMIDA DO Si) ? 0,44.
Xox(ESPESSURA - CAMADA DE SiO2)
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INFLUÊNCIA DA EXPANSÃO DE VOLUME NA TECNOLOGIA DE
ISOLAÇÃO POR OXIDAÇÃO LOCAL (LOCOS)
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OXIDAÇÃO TÉRMICA DO SILÍCIO
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
OXIDAÇÃO CONTROLADA POR DIFUSÃO
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
OXIDAÇÃO CONTROLADA POR DIFUSÃO
OXIDAÇÃO CONTROLADA POR REAÇÃO
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA PARABÓLICA B
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA LINEAR B/A
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA LINEAR B/A
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA LINEAR B/A
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA PARABÓLICA B
FATORES QUE ALTERAM D e C, ALTERAM B
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA LINEAR B/A
FATORES QUE ALTERAM k e C, ALTERAM B/A
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
ORIENTAÇÃO
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
PRESSÃO E ORIENTAÇÃO
TAXA PARABÓLICA OXIDAÇÃO CONTROLADA PELA DIFUSÃO
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
LÂMINAS DE Si DOPADAS COM FÓSFORO
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
LÂMINAS DE Si DOPADAS COM BORO
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
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DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO
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DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO
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DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO
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DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO
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DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO