1.DNA????????

1
?12?(12?15?)??????????????
1.DNA???????? 2.DNA?????????? 3.DNA??????????????
2
????

• ??????????????
• C. H. Matragelo, et al., Microfabricated devices
  for genetic
• diagnosis, IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8,
  pp. 1769-1787,
• 1998.
• ??????????
• (2) N. Yazdi, et al., Micromachined inertial
  sensors, IEEE
• Proceedings,Vol. 86, No. 8, pp. 1640-1655,
  1998.
• ???????????????
• (3) P. F. V. Kessel, et al., A MEMS-based
  projection display,
• IEEE Proceedings, Vol. 86. Pp. 1687-1704, 1998.

3
?????
??????,?????????????? ??????? 1.?? 2.?? 3.?????
???
??????????????????.
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
4
DNA
Deoxyribonucleic Acid
A adenine, G guanine, C cytosine, T thymine
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
5
DNA????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
6
???????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
7
???????DNA?????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
8
Sanger?
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
9
???DNA??????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
10
?????????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
11
????DNA?????????????(1)
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
12
????DNA?????????????(2)
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
13
????DNA????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
14
????DNA??????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
15
DNA???????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
16
?????????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
17
DNA???????????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
18
????????????????????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
19
??????????DNA??????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
20
?????????????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
21
??????????
40 mm x 70 mm
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
22
???????????????????????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
23
???????????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.
24
???????????
C. H. Mastrangelo, M. A. Burns and D. T. Burke,
IEEE Proceedings, Vol. 86, No. 8, pp. 1769-1787.