Elektronikus Eszk

1
INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK
MEMS Micro- Electro- Mechanical Systems
Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003
2
Hogy mit lehet megcsinálni !A nano-gitár
Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm 100
atom!
3
Egy befüggesztett elemFunkció hot plate
Méretek pl. 200x200 mm, vastagság 3-4 mm
HOGYAN KÉSZÜL?
4
A front-oldali megmunkálásKristálytani iránytól
függõ, szelektív marás
A felület lt100gt sík
lt111gt síkok
5
Alkalmazás gyorsulásmérõ, rezgésmérõ
Szeizmikus tömeg Rugalmas nyak Piezorezisztív
érzékelõ (hídkapcsolásban)
6
Gyorsulásméro
Szeizmikus tömeg
7
A feláldozandó (sacrified) réteg
Például SiO2 a poli alatt
8
Feláldozandó réteggel készült csapágy
Ez a himba elfordulhat
9
Függesztett membrán, feláldozandó réteggel
10
Elektrosztatikus mozgatás elmozdulás keltés
comb-drive
11
Elektrosztatikus mozgatás comb-drive
12
Elektrosztatikus mozgatás szögelfordulás keltés
13
Elektrosztatikus mozgatás mikro-motor
14
A mikro-motor légrése és csapágyazása
15
Mikro-manipulátorok
16
Mikro-manipulátoroka meghajtás
17
Elektro-mechanikus kapcsoló(mikrohullámú
hullámvezetoben)
18
Elektrosztatikus mozgatás billenõtükrös
fénymodulátor
Ez egy MOEMS Micro- Opto- Electro- Mechanical
System
19
Digital Micromirror Device (DMD)
Árnyalatos kép impulzus szélesség modulációval
20
Digital Micromirror Device (DMD)
Torziós függesztés, a tükör nélkül
Pl. 640x480 vagy 1280x1024 tükör
21
Digital Micromirror Device (DMD)
Pl. 640x480 vagy 1280x1024 tükör
A tokozott chip
22
Optikai kapcsolók(elektro-sztatikusan mozgatott
mikrotükrök)
23
Optikai kapcsolók(elektro-sztatikusan mozgatott
mikrotükrök)
24
Optikai kapcsolók(elektro-sztatikusan mozgatott
mikrotükrök)
25
Optikai kapcsolók(elektro-sztatikusan mozgatott
mikrotükrök)
26
A LIGA eljárás A maszk vastag poli-imid réteg,
exponálás szinkrotron sugárral, elõhívás,
galvanikus rétegnövesztés
Ezek itt fém fogaskerekek!